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Showing 1 to 1 of 1 for “"Plasmasimulation"”.
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Mikrowellenplasma-Simulation, Abscheidung und Charakterisierung von polykristallinen, dotierten und undotierten Diamantschichten
Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit zwei unterschiedlichen Themenbereichen auf dem Forschungsgebiet der CVD-Diamant-Technologie. Im Mittelpunkt des ersten Teils stehen Computersimulationen, die zur Optimierung und Neuentwicklung von Mikrowellen-Plasmareaktoren für die …