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Showing 1 to 1 of 1 for “"Plasma-Gas-Clusteraggregation"”.
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Entwicklung und Charakterisierung einer neuen Clusterquelle für die Herstellung dünner Schichten
… Platten des Clustermaterials werden mit einem Plasma in einer Argonatmosphäre bei einem Druck von ca. 1mbar gesputtert. Die gesputterten Materialatome kondensieren zu Clustern, die weiterhin für die Herstellung dünner Schichten verwendet werden. Bei der neuen Clusterquelle ist ein Optimum der …