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Results
Showing 1 to 8 of 8 for “"Photolithographie"”.
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Développement d'un procédé pour la réalisation de diodes laser stabilisées en fréquence sans reprise d'épitaxie
… de lithographie par faisceau d'électrons, de photolithographie et finalement de gravure plasma. Le masque de gravure est fait d'un agencement d'oxyde de silicium et de chrome, soient des matériaux volatils au chlore gazeux lors de la gravure sèche à haute température. Le tout est gravé 1,5 …
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Développement d'un procédé de gravure plasma pour la fabrication de composants photoniques à base d'hétérostructures InP/InGaAsP
… en banc humide, la déposition de masque, la photolithographie et la gravure sont à contrôler, car ils déterminent la qualité finale de la gravure. La température est un élément clef du procédé de gravure plasma. Pour graver l'InP en utilisant une chimie chlorée, il est généralement nécessaire …
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Laserstrahlverfahren zur Fertigung kristalliner Silizium-Solarzellen
… im Vergleich zu alternativen Verfahren wie der Photolithographie oder dem mechanischen Öffnen der dielektrischen Schicht nicht nur eine vorteilhafte Prozessführung, sondern sie erlaubt auch die Realisierung höherer Wirkungsgrade. <br>Eine Verbiegung oder Aufwölbung der Wafer, wie sie von …
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Structure-property correlations in fluoroaryl functionalized inorganic-organic hybrid polymers for telecom applications
The development and in-depth characterization of new fluoroaryl functionalized ORMOCER® materials (inorganic-organic hybrid polymers) for optical waveguide applications in telecommunication is presented. The preparation of the materials included precursor silane synthesis, …
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Parallele Modulatorarrays zur Erzeugung intensitätsmodulierter Bildzeilen
A parallel modulator array realized by means of integrated optics can serve as a basic element for an image processor based on laser-beam sources or scanning applications in materials processing. It consists of a number of integrated optical waveguides. These waveguides are arrange in one plane at …
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Une biocapteur à base de résonance de plasmons de surface intégré monolithiquement avec une source d'excitation
Le champ biomédical n’a pas échappé à l’évolution de la technologie, elle cherche aussi à intégrer plusieurs fonctions dans un espace restreint. Un des points forts du développement est la massification de points de service, afin d'obtenir un diagnostic rapide des maladies. Le diagnostique …
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Nanostructuring with diblock copolymers
To date silicon technology remains the predominant tool for semiconductor engineering and device fabrication. In future, scalable nanotechnologies will complement current silicon technology and promise to extend the functionality of today’s semiconductor devices. In keeping up with the demands of …
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Amphiphilic block copolymers as templates for particle formation and positioning
In this thesis, amphiphilic block copolymers were successfully applied as templates for the controlled formation and defined positioning of metal and metal oxide nanoparticles arranged in periodic and artificial patterns on flat surfaces as well as in polymer nanofibre structures. Three different …