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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"Parametrisches Abtragmodell"”.
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Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern
… zulässt. Den Kern der Modellierung bildet ein parametrisches Abtragmodell, das die Abtragrate in Funktion verschiedener Prozessvariablen beschreibt. Die Parameter dieses Modells werden anhand von Messdaten identifiziert. Basierend auf dem validierten Modell werden Ansätze zur Rezeptoptimierung …