Global ETD Search
Search theses and dissertations gathered from participating repositories worldwide. Every result links back to the library that holds it. No account is needed.
Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"Nanolaminati"”.
-
Dielettrici high-κ Al-based per 4H-SiC tramite Atomic Layer Deposition
… migliore rispetto al singolo strato Al2O3, e i nanolaminati Al:Hf mostrano un valore di costante dielettrica modulabile controllando la composizione elementare tramite alternanza di cicli ALD diversi. Sebbene alcuni aspetti legati al comportamento dielettrico, quali l'effetto di successivi …