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Showing 1 to 1 of 1 for “"Modellbasierte Optimierung"”.
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Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern
… dem validierten Modell werden Ansätze zur Rezeptoptimierung untersucht mit dem Ziel, die Produktivität zu steigern. Abschliessend wird ein ausgewählter Ansatz aus der Rezeptoptimierung experimentell validiert. Aus der Versuchsreihe geht hervor, dass mit den entwickelten Ansätzen eine wesentliche …