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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"Micro-contacts électromécaniques"”.
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Étude du contact électromécanique Au−Ru/AlCu pour les MEMS RF ohmiques : modélisation, intégration et caractérisation
… des performances et de la fiabilité des micro-commutateurs MEMS RF à contact ohmique. L'encapsulation des MEMS RF aux niveau du wafer est nécessaire pour leur intégration dans des systèmes plus complets telles les matrices de commutations et les antennes configurables. En plus de …