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Showing 1 to 1 of 1 for “"MIM , Capacitor , AVD , high-k , dielectrics"”.

  1. Atomic vapor depositions of metal insulator metal capacitors : investigation, development and integration

    Lukosius, MindaugasUniversität Oldenburg

    Metall-Isolator-Metall (MIM) Kondensatoren gehören zu den wichtigsten passiven Komponenten in Hochfrequenzbauelementen und Schaltkreisen für Analog/Mischsignale. Unabhängig von der Anwendung beanspruchen MIM-Kondensatoren bis zu 50 % der Chipfläche. Dies unterstützt maßgeblich die Chipfläche zu …

    oldenburg Repository record