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Results
Showing 1 to 14 of 14 for “"Lithographie"”.
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Herstellung von Biochips basierend auf selbstaggregierender Monolagen
… Monolagen (SAMs) mittels EUV Interferenz Lithographie (EUV-IL) untersucht. Dabei zeigt sich, dass die direkte Strukturierung der Nitrobiphenyl-Thiol SAMs durch Vernetzung die gleichen chemischen und physikalischen Eigenschaften aufweisen wie Elektronenvernetzte Proben. Die Methode der …
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Développement d'un procédé pour la réalisation de diodes laser stabilisées en fréquence sans reprise d'épitaxie
… de fabrication consiste en premier lieu de lithographie par faisceau d'électrons, de photolithographie et finalement de gravure plasma. Le masque de gravure est fait d'un agencement d'oxyde de silicium et de chrome, soient des matériaux volatils au chlore gazeux lors de la gravure sèche à …
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Monolithische Halbleiternanostrukturen als ballistische Verstärker und logische Gatter
… und wurden über Elektronenstrahl-Lithographie sowie nasschemische Ätztechniken realisiert. Somit entstanden niederdimensionale Leiter mit Kanalbreiten von wenigen 10 nm, deren Leitwert über planare seitliche Gates elektrisch kontrolliert werden kann. Bei den …
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Elektrochemische Prozesse an strukturierten Substraten für Anwendungen in neuartigen Leitungstechnologien
… werden. Im Mikrometermaßstab führt die optische Lithographie auf Siliciumwafern zu Mikrokanalstrukturen, die elektrochemisch mit Metallen wie Silber und Palladium beschichtet wurden. Palladium-Mikrokanäle können als Wasserstoffsensoren, Silber-Mikrokanäle als Ammoniaksensoren dienen. Es wurden …
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Patterning Strategies of Poly(ethylene glycol) Based Hydroxyapatite Composites for Biomedical Applications
… unterschiedliche Herangehensweisen, Soft Lithographie in Form von Fillmolding In Capillaries (FIMIC) und die Fabrikation von 3D Werkzeugen um kontrolliertes Zelladhäsionsverhalten durch gezielte chemische Strukturierung zu erreichen. Es ist weithin akzeptiert, dass das Verständnis für …
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Herstellung und Charakterisierung von Nanostrukturen auf der Basis von II-VI-Materialien mittels der Schattenmaskentechnologie
… geeignete Belichtungs-Masken für die optische Lithographie entworfen werden, bevor die Ätztechniken zur Herstellung der Schattenmasken selbst optimiert werden konnten. Am Ende der Schattenmaskenentwicklung stand ein Verfahren zur Präparation einer verlässlichen Startoberfläche für die …
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Demagnifying X-ray lithography
In this thesis, a concept for a demagnifying lithography setup using hard x-rays is introduced. As demagnification tool, parabolic refractive x-ray lenses were used. In first experiments at the ESRF, magnifications between 2.8 and 4.1 were realized, but even larger values are possible with this …
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Magnetische Anisotropie und Spintransport in magnetoelektronischen Schichtsystemen und Nanostrukturen
The increasing use of information technology has lead to the development of numerous new concepts and processes in the production of electronic devices and magnetic data storage systems. The preparation and lithographic patterning of thin films plays a central role in this context. This work was …
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Nanostructuring with diblock copolymers
To date silicon technology remains the predominant tool for semiconductor engineering and device fabrication. In future, scalable nanotechnologies will complement current silicon technology and promise to extend the functionality of today’s semiconductor devices. In keeping up with the demands of …
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Development of nanofocusing refractive X-ray lenses
According to the results of this work the following conclusions can be made:•The microfabrication process of silicon nanofocusing lenses is optimised. With these lenses a lateral resolution of 50 nm was achieved and this resolution approaches the theoretical limit. Using the same process for the …
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Optische Strukturierung ultradünner funktioneller Polymerfilme
Im Rahmen dieser Arbeit wurde die Strukturierbarkeit ultradünner, funktioneller Polymerfilme anhand von Diazosulfonat-Terpolymer- und Aminoterpolymer-Schichten untersucht. Beide Polymersysteme enthalten eine photoaktive Gruppe in der Seitenkette, die sich durch gezielte UV-Bestrahlung verändern …
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Quantentransport in III-V-Halbleiternanosäulen
The goal of this work has been to investigate und understand the electronic transport properties of vertical GaAs/AlAs nanocolumn resonant tunneling diodes (RTDs) and field effect transistors (RTTs) as well as of vertical InAs nanocolumn phase interference diodes. Using new top-down processing …