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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"Kunststoffautoverscheibung"”.
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Entwicklung und Charakterisierung einer neuen Clusterquelle für die Herstellung dünner Schichten
Im Rahmen dieser Arbeit ist eine neue Clusterquelle entwickelt worden. Die Motivation dieser Entwicklung entstammt dem Wunsch nach einer Anpassung der vorliegenden Apparatur an industrielle Anforderungen. Die vor einem Jahrzehnt entwickelten Magnetron-Clusterquelle stößt die Methode relativ schnell …