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Showing 1 to 1 of 1 for “"Kammerreinigung"”.
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Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
… Zustand zu versetzen, ist eine regelmäßige Kammerreinigung notwendig. Während des Abscheideprozesses werden nicht nur das Substrat, sondern auch die umliegenden Kammerteile beschichtet. Diese Schichten wachsen mit jedem Beschichtungszyklus weiter an. Der Stress zwischen Schicht und …