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Results
Showing 1 to 5 of 5 for “"Interferenzlithographie"”.
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Interferenzlithographie mit hochaufbauenden Resistsystemen
… (AZ9260, SU-8) auf ihre Eignung für Interferenzlithographie untersucht. Es wurden Photoresistsimulationen durchgeführt und anschließend Mikrostrukturen mit großen Aspektverhältnissen hergestellt. Dabei konnten erstmalig Mikrostrukturen mit Abmessungen im Bereich von 10 bis 100 …
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Organische Photonische-Kristall-Laser
… verursacht wird. Die Substrate werden durch Interferenzlithographie und anschließende Mikroreplikation hergestellt, beides Technologien, die eine großflächige und kostengünstige Herstellung erlauben. <br>Der experimentelle Teil befasst sich mit der Herstellung von Substraten mit variierender …
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Mikrostrukturen zur Steuerung von Tageslichtströmen
Wichtig für den Umgang mit periodischen Mikrostrukturen, deren Funktionsprinzip die Totalreflexion darstellt, ist sowohl das Verständnis der elementaren physikalischen Zusammenhänge in Beugungsgittern, insbesondere Phasengittern, als auch die Kenntnis der Beziehungen zwischen evaneszentem Feld, …
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Templated self-assembly of SiGe quantum dots
This PhD thesis reports on the fabrication and characterization of exact aligned SiGe quantum dot structures. In general, SiGe quantum dots which nucleate via the Stranski-Krastanov growth mode exhibit broad size dispersion and nucleate randomly on the surface. However, to tap the full potential of …