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Showing 1 to 1 of 1 for “"High Aspect Ratio Micromachining"”.
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Entwurf, Aufbau und Charakterisierung eines mikromechanischen Gleichspannungswandlers
… sie den Vorteil der On-Chip-MEMS- und CMOS-Integration und ermöglicht die Bereitstellung hoher elektrischer Gleichspannungen aus den verfügbaren Grundspannungen der Elektronik (z. B. 3, 5 bzw. 12 V). Von hohen Polarisationsspannungen profitieren nicht nur kapazitive Sensoren und Aktoren, sondern …