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Results
Showing 1 to 10 of 10 for “"Gasphasenabscheidung"”.
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Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten : Herstellung und Charakterisierung
The extended use of digital communication requires ever more powerful and faster memory with concurrently minimized energy consumption. Novel non-volatile memory using ferroelectric crystalline thin films (FeRAM) are a possible replacement for Flash- and DRAM-memory with equivalent or superior …
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Silicium aus der Gasphase : Optimierung der Gasphasenabscheidung von Silicium aus Silan
Silicon is an important material with a huge variety of technical applications. The manufacturing of silicon films via chemical vapor deposition (CVD) is widely used in the electronics and photovoltaic industry. While only thin films are required for electronics applications because of decreasing …
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Untersuchung der Herstellungsbedingungen von durch Gasphasenabscheidung hergestellten Platinnanocluster und die chemische Modifizierung von Polymeroberflächen
Ausgangspunkt und Zielsetzung dieser Arbeit ist die Oberflächenmodifikation von Materialien mittels Ionenstrahlen im Hinblick auf Mikro- und Nanostruktu-rierung. Dabei wurden zum einen die Parameter für die Bildung von Platinnanoclustern in einer Siliziumdioxidmatrix untersucht, zum anderen …
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Charakterisierung verschleißmindernder Hartstoff-Viellagenschichten und Optimierung ihrer mechanischen Eigenschaften durch Untersuchung der Nanostruktur
… aufgeklärt. Dazu wurden durch plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PACVD) Hartmetallsubstrate mit Viellagen beschichtet und vorrangig mittels analytischer Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) charakterisiert. Als Schichkomponenten wurden hauptsächlich TiN und Al2O3 untersucht, daneben aber …
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Abscheidung von (Kohlenstoff)Nanostrukturen mittels PE-HF-CVD
… und hitzdrahtgestützter chemischen Gasphasenabscheidung -„Plasma enhanced hot filament chemical vapor deposition“ (PE-HF-CVD). Es sollen Abscheidungsbedingungen für die Synthese von unterschiedlichen Kohlenstoffnanostrukturen gefunden und optimiert werden. Die Darstellung und …
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Grundlegende Untersuchungen zum CVD-Wachstum Fe-gefüllter Kohlenstoff-Nanoröhren
… eine Anlage zur thermisch induzierten chemischen Gasphasenabscheidung bei Atmosphärendruck verwendet. Im Mittelpunkt der Syntheseexperimente standen Fe-gefüllte MWCNTs. Als Precursoren dienten Ferrocen und Cyclopentadienyl-eisen-dicarbonyl-dimer. Für die Darstellung von CNT-Ensembles mit …
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Bismutsubchloride mit anionischen Clustern und Bismutpolykationen - Synthese, Charakterisierung und Kristallstrukturen
… Bi7Cl10 optimiert werden konnte. Die phasenreine Gasphasenabscheidung von Bi7Cl10 ist aufgrund der Kondensation der dominierenden Gasphasenspezies BiCl und BiCl3 im Existenzbereich der Verbindung oberhalb des Zersetzungspunktes (190 °C) nicht möglich. Im Existenzgebiet von Bi7Cl10 kommt der …
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Zink/Mangan-Schichten für ein verbessertes Korrosionsverhalten von Stählen für die Automobilindustrie
… wurden Zink/Mangan-Schichten auf Stahl durch Gasphasenabscheidung der Schichtmetalle mit PVD- und IBAD-Verfahren. Es wurden Schichtsysteme entwickelt, die trotz einer geringeren Dicke die Korrosionsbeständigkeit eines konventionell (elektrogalvanisch) verzinkten Stahls erreichten bzw. …
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Synthesis, characterization and modification of carbon nanomaterials
The main objective of the present thesis is to deepen the understanding of the mechanisms involved in catalytic growth of carbon nanotubes (CNT) and related processes, such as the catalytic hydrogenation, and to use this knowledge to optimize the experimental approaches in order to gain better …
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A combined experimental and theoretical approach towards the understanding of transport in one-dimensional molecular nanostructures
This thesis comprises detailed experimental and theoretical investigations of the transport properties of one-dimensional nanostructures. Most of the work is dedicated to the exploration of the fascinating effects occurring in single wall carbon nanotubes (SWCNT). These particular nanostructures …