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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"FIB.Preparation"”.
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Quantitative Messung von Dotiergebieten in FIB-präparierten Silizium-Halbleiterbauelementen mittels Elektronenholographie
… mit dem fokussierten Ionenstrahl („FIB“), da keine andere Methode vergleichbar effizient arbeitet. Leider wird bei dieser Art von Präparation die Probe von der Oberfläche bis in eine gewisse Tiefe sowohl strukturell als auch elektrisch verändert. Diese Artefakte beeinflussen das …