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Showing 1 to 1 of 1 for “"FIB-Präparation"”.
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Quantitative Messung von Dotiergebieten in FIB-präparierten Silizium-Halbleiterbauelementen mittels Elektronenholographie
… Erkenntnissen befasst, werden im Anhang die bei Präparation und Messung wichtigen Details ausführlich beschrieben. Ein wesentliches Problem bei der elektronenholographischen Messung stellt die Präparation der Objekte für die Untersuchung im TEM dar. Die einzige sinnvolle Möglichkeit für eine …