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Showing 1 to 1 of 1 for “"Estructuras de enlaces"”.

  1. Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD

    Martínez Viviente, Felix Lorenzo2002

    [SPA] La técnica de deposición química en fase de vapor activada por resonancia ciclotrónica de electrones (ECR-CVD) ha sido empleada para crecer láminas delgadas de nitruro de silicio hidrogenado (SiNx:H) de varias composiciones. Este dieléctrico de elevada permitividad tiene numerosas …

    upc-spain Repository record