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Results
Showing 1 to 2 of 2 for “"Deposição de vapor químico"”.
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Estudo exploratório da deposição de filmes de diamante em alguns substratos cerâmicos
… é um estudo exploratório a respeito da síntese de filmes de diamante via deposiçãoquímica a vapor (CVD) sobre alguns substratos cerâmicos: diboreto de titânio (TiB2), ítria (Y20a), zircão (ZrSi04), zircônia parcialmente e totalmente estabilizada com ítria (Zr02), pirofilita ( Al2Si4OlO(OHh), …
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Estudo da estabilidade termodinâmica de filmes ultrafinos de HfO/sub 2/ sobre Si
… a composição, transporte atômico, estabilidade termodinâmica e as reações químicas durante tratamentos térmicos em atmosfera de argônio e oxigênio, de filmes ultrafinos de HfO2 depositados pelo método de deposição química de organometálicos na fase vapor (MOCVD) sobre Si, contendo uma camada …