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Results
Showing 1 to 20 of 30 for “"Dünnschichten"”.
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Strombegrenzende Mechanismen YBa2Cu3O7-[delta]-Dünnschichten und -Quasimultilagen
In this work, electrical transport properties and the maximum current carrying capability of YBa2Cu3O7-[delta] thin films and so called quasi-multilayers are investigated. These samples are prepared with pulsed laser deposition on single-crystalline substrates (SrTiO3) as well as on biaxially …
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Ferroelektrische Eigenschaften von Kondensatoren mit epitaktischen BaTiO3-Dünnschichten
Abstract Epitaxial BaTiO3 films are interesting for the integration into microelectronics due to the ferroelectric properties and high permittivity. In this work epitaxial BaTiO3 thin-films were grown on conductive layers, SrRuO3 und La2/3Ca1/3MnO3, by pulsed laser deposition. The growth on …
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Multiferroische Schichtsysteme: Piezoelektrisch steuerbare Gitterverzerrungen in Lanthanmanganat-Dünnschichten
In der vorliegenden Arbeit werden durch den inversen piezoelektrischen Effekt kontrolliert Dehnungen in Lanthanmanganatschichten eingebracht und ihr Einfluss auf die Eigenschaften der Schichten untersucht. Dazu wird im ersten Teil der Arbeit ein Zweischichtsystem bestehend aus einer Manganatschicht …
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Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten : Herstellung und Charakterisierung
The extended use of digital communication requires ever more powerful and faster memory with concurrently minimized energy consumption. Novel non-volatile memory using ferroelectric crystalline thin films (FeRAM) are a possible replacement for Flash- and DRAM-memory with equivalent or superior …
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Untersuchungen zu Schichtwachstum und Grenzflächen an Ta-basierten Dünnschichten mittels XPS
In der vorliegenden Arbeit wird das Wachstum von Ta- und TaN-Schichten auf Si- und SiO_2-Substraten untersucht Die Schichten werden dabei unter technologienahen Bedingungen mittels Magnetron-Sputtern abgeschieden. Die Untersuchungen erfolgen hauptsächlich mit winkelaufgelöster …
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La0,7Sr0,3MnO3-Dünnschichten auf SrTiO3 (0 0 1)-Substrat: Struktur und Mn-Wertigkeit
… von La0,7Sr0,3MnO3 (LSMO)/SrTiO3 (STO)-Dünnschichten, die mit außeraxialer gepulster Laserdeposition auf STO(0 0 1)-Substrat abgeschieden wurden. Aufgrund der hohen Spinpolarisation der Ladungsträger und der hohen Curie-Temperatur von LSMO sowie der geringen Gitterfehlpassung zwischen …
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Cu(Ag)-Legierungsschichten als Werkstoff für Leiterbahnen höchstintegrierter Schaltkreise
Die vorliegende Arbeit verfolgt das Ziel, Cu(Ag)-Dünnschichten als potentiellen Werkstoff für Leiterbahnen in der Mikroelektronik zu untersuchen. Für die Beurteilung dieses Materialsystems wurden vier Schwerpunkte bezüglich der Schichtcharakterisierung definiert: Herstellung, Gefüge, …
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Struktur und elektronische Eigenschaften geordneter binärer Dünnschichtverbindungen Seltener Erden mit Übergangsmetallen
… Die Präparation der typischerweise 10 nm starken Dünnschichten erfolgte in-situ durch Aufdampfen der Seltenerdmetalle auf einkristalline Übergangsmetallsubstrate oder alternativ durch Kodeposition der Konstituenten auf einen W(110)-Einkristall, jeweils gefolgt durch kurzzeitiges Tempern bei 400 - …
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Neuartige Precursor zur Abscheidung von Selten-Erd-Oxiden
… für die Abscheidung von Selten-Erd-Oxid-Dünnschichten auf einer Silicium-Oberfläche auf Basis von Nitrat-Solvaten entwickelt und untersucht. Durch Aufbringung des in organischen Lösungsmitteln gelösten Precursors konnten Ultradünnschichten auf der H-Si(111)-Oberfläche erhalten werden. Die …
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Rare earth oxide thin films from solution based inorganic precursor deposition as potential candidates for insulators in advanced gate stacks : deposition mechanism and performance studies
Selten-Erd-Oxid Dünnschichten oder generell Materialien mit hohen Dielektrizitätskonstanten sind in der Diskussion zum Ersatz von SiO2 als Gate-Oxid in MOSFETs, um eine weitere Miniaturisierung bei gleichzeitiger Leistungssteigerung zu gewährleisten. In dieser Arbeit wurde ein neuartiges …
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Charakterisierung von funktionellen Metalloxidgrenzflächen mittels Röntgenmethoden und Elektronenmikroskopie
… ab. Für die Kristallisation der amorphen SrTiO3-Dünnschichten ergibt sich eine Korrelation zwischen der Einsatztemperatur und der Schichtabscheidemethode.
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