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Results
Showing 1 to 1 of 1 for “"CAP-Reaktor"”.
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Mikrowellenplasma-Simulation, Abscheidung und Charakterisierung von polykristallinen, dotierten und undotierten Diamantschichten
… und Neuentwicklung von Mikrowellen-Plasmareaktoren für die Niederdruck-Diamantabscheidung eingesetzt werden. Der zweite Themenkomplex befasst sich mit der Abscheidung und Charakterisierung bordotierter CVD-Diamantschichten. Um derartige Schichten herstellen zu können, wurde ein neuer …