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Results
Showing 1 to 2 of 2 for “"Biegebalken"”.
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Entwicklung eines hochauflösenden Geschwindigkeitssensors
… Auflösungsvermögen ist durch mikrostrukturierte Biegebalken gegeben, die mit bis zu 100 kHz abgetastet werden können. Das LCA wurde für alle Arten von transparenten Fluiden konstruiert. Im Gegensatz zur Hitzdraht-Anemometrie gibt es keine Probleme in Strömung mit hoher thermischer Leitfähigkeit, …
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Ion-induced stress relaxation during the growth of cubic boron nitride thin films
The aim of the presented work was to deposit cubic boron nitride thin films by magnetron sputtering under simultaneous stress relaxation by ion implantation. An in situ instrument based on laser deflectometry on cantilever structures and in situ ellipsometry, was used for in situ stress …