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Results

Showing 1 to 2 of 2 for “"Akustomigration"”.

  1. TEM-Untersuchungen zum Gefüge und zu mechanischen Spannungen in Metallisierungen für SAW-Bauelemente

    Higher frequencies in the MHz and GHz range and the increasing miniaturization lead to a higher load of the SAW (surface acoustic wave) metallizations. This higher SAW load and the intrinsic stresses result in a stress induced material transport, called acoustomigration. These microstructural …

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  2. Herstellung und Eigenschaften von Oberflächenwellen-Strukturen in Cu-Damaszentechnologie

    Im Mittelpunkt der vorliegenden Arbeit stehen Bauelemente, die auf der Basis von sog. akustischen Oberflächenwellen, in der Fachsprache üblicherweise mit dem Begriff SAW (surface acoustic wave) bezeichnet, arbeiten. In den vergangenen ca. 40 Jahren haben SAW-Bauelemente einen außerordentlich …

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