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Results
Showing 1 to 7 of 7 for “"Ätzen"”.
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Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
Mit zunehmender Miniaturisierung mikroelektronischer Bauelemente steigen die Anforderungen an reproduzierbare qualitätskonforme Schichten. Um die zur Herstellung notwendigen ALD/PVD/CVD-Schichtabscheideanlagen in einen zuverlässigen Zustand zu versetzen, ist eine regelmäßige Kammerreinigung …
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Focused Ion Beam Created Refractive and Diffractive Lens Techniques for the Improvement of Optical Imaging through Silicon
… wird und rSIL (2) durch gasunterstütztes FIB-Ätzen. Die rSIL-Kugelstruktur wird auf Segmente begrenzt, um einen effizienten und machbaren FIB-Prozess zu erreichen. rSIL (1) benötigt weniger als 20 Min. Prozesszeit und verbessert die mikroskopische Auflösung um den Faktor 1,8. rSIL (1) wurde …
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Nachweis der elektrischen Spin-Injektion in II-VI-Halbleiter mittels Messung des elektrischen Widerstandes
… "Elektronenstrahlbelichtung" und "nasschemisches Ätzen" wurde eine Ätztechnologie entwickelt und optimiert, bei der die Ätzraten über die zuvor durchgeführte EBL kontrollierbar eingestellt werden können. Mesas mit Breiten von bis zu 12 nm konnten damit hergestellt werden. Untersuchungen zur …
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Development of nanofocusing refractive X-ray lenses
According to the results of this work the following conclusions can be made:•The microfabrication process of silicon nanofocusing lenses is optimised. With these lenses a lateral resolution of 50 nm was achieved and this resolution approaches the theoretical limit. Using the same process for the …
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Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxid-Schichten für Silizium-Dünnschichtsolarzellen
This thesis addresses the development of aluminum doped zinc oxide (ZnO:Al) films by reactive sputter deposition. The study focuses on the relation between deposition conditions and the resulting electrical, optical and structural film properties. The structure of the ZnO:Al films strongly affects …
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Lichtstreuende Oberflächen, Schichten und Schichtsysteme zur Verbesserung der Lichteinkopplung in Silizium-Dünnschichtsolarzellen
This doctoral thesis addresses the light yield and the optical loss mechanisms in thin-film solar cells based on amorphous (a-Si:H) and microcrystalline (µc-Si:H) silicon. The study focuses on the optimization of the aluminum-doped zinc oxide (ZnO:Al) front contact, which has to combine low series …