Universität Tübingen
Miniaturisierte elektrostatische Linsen aus konventionellen Blenden für die hochauflösende Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskopie
Abstract
In dieser Arbeit wurde untersucht, ob sich miniaturisierte elektrostatische Elektronenlinsen auf der Basis von konventionellen elektronenmikroskopischen Blenden eignen, um eine hochauflösende Elektronensonde zu erzeugen. Das elektronenoptische System wird gebildet aus einem Schottky-Emitter mit integrierter Extraktionsanode und einer Drei-Elektroden-Linse aus Platin-Blenden. Die Linse wurde hinsichtlich der Auflösung optimiert. Simulationen ergaben einen Sondendurchmesser von ca. 5 nm bei einer Strahlenergie von 1 keV und einem Arbeitsabstand von 1 mm. Sowohl Details zur Messung des Sondendurchmessers als auch spezifische Probleme, die während der Messung auftraten, werden präsentiert. Experimentell wurde ein Wert von 30 nm erreicht.
Author and committee
dc:creator, dc:contributor.*- Author
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- Lutsch, Ramona Yvonne
Identifiers
dc:identifier.*- Identifier
- hdl:10900/48438