Funktionale dünne Schichten auf Polymeren durch die Deposition energiereicher Cluster

Die Dissertation behandelt eine Weiterentwicklung des ECI-Verfahrens (Energetic Cluster Impact) und die damit mögliche Metallisierung bzw. Verglasung von Polymeren. <br>Das ECI-Verfahren ist ein PVD-Verfahren, bei dem durch die Deposition von Clusterionen hoher kinetischer Energie dünne Schichten im Bereich 5 bis 100 nm erzeugt werden. Schon bei Raumtemperatur zeichnen sich diese Schichten durch eine sehr gute Haftung auf der Unterlage, hohe Dichte, eine mikrokristalline Morphologie und eine glatte Oberfläche aus. Für das ursprünglich für Metalle konzipierte Verfahren wurde ein gepulster Betrieb entwickelt, bei dem die auf dem Substrat entstehende Oberflächenladung durch Elektronen neutralisiert wird. Damit wird der Einsatz nicht elektrisch leitfähiger Substrate und Clustermaterialien möglich. Als Anwendung wurde die Metallisierung von PMMA-Mikrostrukturträgern vorgenommen, ein Teilschritt des sog. LIGA-Verfahrens. <br>Weiter wurde ausführlich die Herstellung und Deposition von Oxidclustern untersucht. Dies ermöglichte erste Schritte zur Verglasung von Polycarbonat mit transparenten leitfähigen Oxiden.

Author dc:creator

• Häfele, Andreas

Contributors dc:contributor

• Haberland, Hellmut

• Energetic Cluster Impact
• Dünne Schichten
• thin films

Repository record source_url

https://freidok.uni-freiburg.de/data/1120

OAI identifier oai:identifier

oai:freidok.uni-freiburg.de:1120