Návrh a realizace řídicí elektroniky pro mikropoziční systém universálního hrotového měřicího zařízení

Práce se zabývá problematikou snímání polohy a řízení pohybu mikropozičního zařízení. Jejím cílem je navrhnout a zkonstruovat řídicí elektroniku pro mikropoziční systém universálního hrotového měřicího zařízení, které může být využito například pro měření parametrů struktur tlustovrstvých a tenkovrstvých technologií. Parametry substrátu budou měřeny prostřednictvím měřicích hrotů. Ty musí být zaměřeny na měřenou pozici s vysokou přesností, která je zajištěna použitím krokových motorů. Pro pohyb pojezdu s vlastním substrátem je použito stejnosměrných motorů. Pozice pojezdu je snímána ve dvou osách optickými CCD snímači polohy. Práce zahrnuje i návrh řídicího programu pro mikrokontrolery všech navržených elektronických systémů, jejichž činnost je řízena prostřednictvím vybrané sériové sběrnice.

Grantor dc:publisher

Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií

Author dc:creator

• Zeman, Pavel

Advisor dc:contributor.advisor

• Pavlík, Michal

• Poziční systém
• CCD chip
• mikrokontroler
• Positioning system
• microcontroller

Statement dc:rights

• Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení

Language dc:language.iso

cs

Dc Identifier Other

10357

OAI identifier oai:identifier

oai:dspace.vut.cz:11012/7974