Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Al

Tato bakalářská práce se zabývá návrhem efuzní cely pro tvorbu ultrathenkých vrstev hliníku v podmínkách ultravysokého vakua. Byly navrhnuty dvě varianty lišící se typem ohřevu. První využívá energie urychlených elektronů, druhý tepelné záření. Zbylé části cel jsou plně zaměnitelné.

Grantor dc:publisher

Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství

Author dc:creator

• Řihák, Radek

Advisor dc:contributor.advisor

• Mach, Jindřich

• Efuzní cela
• hliník
• atomární svazek
• ultratenké vrstvy
• MBE
• UH
• Effusion cell
• aluminum
• atom beam
• ultrathin layers
• UHV

Statement dc:rights

• Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení

Language dc:language.iso

cs

Dc Identifier Other

70888

OAI identifier oai:identifier

oai:dspace.vut.cz:11012/33302