Regelung der Abtragtiefe für das reaktive Abtragen mit CO 2 -Laserstrahlung

Geissler, Stefan

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Shaker

Regelung der Abtragtiefe für das reaktive Abtragen mit CO 2 -Laserstrahlung

dc:creator Geissler, Stefan

dc:date2003

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 2003

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Geissler, Stefan
Contributors dc:contributor: Skopnik, Heino

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-122951%22
OAI identifier oai:identifier: oai:publications.rwth-aachen.de:61274

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source

Harvested from: RWTH Aachen University
Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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aachen
2003

citation

Geissler, Stefan. Regelung der Abtragtiefe für das reaktive Abtragen mit CO 2 -Laserstrahlung. Shaker, 2003. https://publications.rwth-aachen.de/record/61274