Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten

Smolka, Gregor

Back to search

Shaker

Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten

dc:creator Smolka, Gregor

dc:date2005

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Shaker
Year dc:date: 2005

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Smolka, Gregor
Contributors dc:contributor: Dilthey, Ulrich

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-122342%22
OAI identifier oai:identifier: oai:publications.rwth-aachen.de:60641

Chain of custody

source

Harvested from: RWTH Aachen University
Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

related terms

aachen
2005

citation

Smolka, Gregor. Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten. Shaker, 2005. https://publications.rwth-aachen.de/record/60641