Epitaktische Abscheidung von monokristallinem Silizium bei reduziertem Totaldruck

Krullmann, Eike

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RWTH Aachen University

Epitaktische Abscheidung von monokristallinem Silizium bei reduziertem Totaldruck

dc:creator Krullmann, Eike

dc:date1981

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Krullmann, Eike

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-122328%22
OAI identifier oai:identifier: oai:publications.rwth-aachen.de:60626

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Last updated: 2026-07-30
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1981

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Krullmann, Eike. Epitaktische Abscheidung von monokristallinem Silizium bei reduziertem Totaldruck. 1981. https://publications.rwth-aachen.de/record/60626