Nasschemische Synthese und Charakterisierung von elektronisch leitfähigen, oxidischen Dünnschichten für die Mikroelektronik

Hasenkox, Ulrich

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VDI-Verl

Nasschemische Synthese und Charakterisierung von elektronisch leitfähigen, oxidischen Dünnschichten für die Mikroelektronik

dc:creator Hasenkox, Ulrich

dc:date1999

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: VDI-Verl
Year dc:date: 1999

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Hasenkox, Ulrich
Contributors dc:contributor: Waser, Rainer

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

dc:identifier.*

Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-120116%22
OAI identifier oai:identifier: oai:publications.rwth-aachen.de:58180

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Harvested from: RWTH Aachen University
Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
Source record: OAI-PMH GetRecord

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1999

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Hasenkox, Ulrich. Nasschemische Synthese und Charakterisierung von elektronisch leitfähigen, oxidischen Dünnschichten für die Mikroelektronik. VDI-Verl, 1999. https://publications.rwth-aachen.de/record/58180