Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer großflächigen Plasmaquelle

Stollenwerk, Manfred

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Verl. der Augustinus-Buchh

Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer großflächigen Plasmaquelle

dc:creator Stollenwerk, Manfred

dc:date1996

Degree

thesis:*

Grantor dc:publisher: Verl. der Augustinus-Buchh
Year dc:date: 1996

Author and committee

dc:creator, dc:contributor.*

Author dc:creator: Stollenwerk, Manfred

Rights

dc:rights

Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/closedAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

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Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-119721%22
OAI identifier oai:identifier: oai:publications.rwth-aachen.de:57713

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Base URL: publications.rwth-aachen.de/oai2d
Last updated: 2026-07-30
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aachen
1996

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Stollenwerk, Manfred. Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer großflächigen Plasmaquelle. Verl. der Augustinus-Buchh, 1996. https://publications.rwth-aachen.de/record/57713