Einfluß von Passivierung und von Legierungszusätzen auf die thermischen Spannungen von Leiterbahnen in integrierten Schaltkreisen

Nielen, Heiko

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RWTH Aachen University

Einfluß von Passivierung und von Legierungszusätzen auf die thermischen Spannungen von Leiterbahnen in integrierten Schaltkreisen

dc:creator Nielen, Heiko

dc:date1998

Author and committee

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Author dc:creator: Nielen, Heiko

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Statement dc:rights: info:eu-repo/semantics/openAccess
Language dc:language: ger

Identifiers

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Identifier: https://publications.rwth-aachen.de/search?p=id:%22RWTH-CONV-119414%22
OAI identifier oai:identifier: oai:publications.rwth-aachen.de:57360

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Last updated: 2026-07-30
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1998

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Nielen, Heiko. Einfluß von Passivierung und von Legierungszusätzen auf die thermischen Spannungen von Leiterbahnen in integrierten Schaltkreisen. 1998. https://publications.rwth-aachen.de/record/57360